
鈦合金管靶的性質:
產品名稱:鈦及鈦合金靶
- 產品牌號:TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
- 產品材質:純鈦、鈦合金
- 產品狀態:退火(M)
- 產品用途:治金、電子、醫療、化工
- 產品應用:半導體分離、薄顏涂層材料、表面涂層、玻璃涂層工業
- 產品第規:可按需定制
- 產品標準:GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
- 產品特性:耐酸堿腐蝕,耐海水腐
鈦靶材的密度特性
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
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