純鈦板靶的性質：

• 產品名稱：鈦及鈦合金板靶

• 產品牌號：TAO、 TAI、 TA2、TA3、 TA9、TA10、 TC4、 GR2、 RG5等
• 產品材質：純鈦、鈦合金
• 產品狀態：退火(M)
• 產品用途：治金、電子、醫療、化工
• 產品應用：半導體分離、薄顏涂層材料、表面涂層、玻璃涂層工業
• 產品第規：可按需定制

• 產品標準：GB/T16598-96 ASTMB381-98 GLB AMS
  

       

純鈦靶晶粒尺寸及晶粒尺寸分布：

•  通常靶材為多晶結構，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。